特許
J-GLOBAL ID：201803017130326167
静電レンズ、並びに、該レンズとコリメータを用いた平行ビーム発生装置及び平行ビーム収束装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人グローバル知財
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016070744
公開番号（公開出願番号）：WO2017-010529
出願日： 2016年07月13日
公開日（公表日）： 2017年01月19日
要約：
点源から放出される荷電粒子を広立体角範囲にわたり取り込み、荷電粒子の軌跡を平行化するコンパクトな装置を提供する。点源に対し凹面状を有する軸対称な非球面メッシュ(2)および軸対称な複数の電極(10〜14)から成る静電レンズと、静電レンズと同軸に配置される平面コリメータプレート(3)とから構成される。点源(7)から発生した荷電粒子の取り込み角が±30°以上で、荷電粒子の軌跡が静電レンズにより略平行化されるように、非球面メッシュ(2)の形状とアース電極(10)と印加電極(11〜15)の電位及び配置が調整されている。荷電粒子の軌跡が軸に対して略平行化された後で、荷電粒子が平面コリメータプレート(3)に対して略垂直に入射するように、静電レンズと平面コリメータプレートが共軸に配置されている。
請求項（抜粋）：
点源又は集光点に対し凹面状を有する軸対称または実質的に軸対称な非球面メッシュおよび軸対称または実質的に軸対称な単一乃至は複数の電極から成る静電レンズであって、 前記非球面メッシュは、メッシュ開口部の中心近傍からメッシュ中心の位置までを長軸とする回転楕円体、又は、メッシュ開口部近傍が内側に凸の曲率で拡がる形状の実質的回転楕円体であり、 メッシュに接続されるメッシュ電極の開口部半径と、前記単一乃至は複数の電極の内、前記メッシュ電極に隣接する第一電極の開口部半径の比は、1.2以上1.6以下であり、 前記回転楕円体における長軸半径と短軸半径との比は、1.0より大きく2.0以下であり、 点源から発生した荷電粒子の取り込み角が±60°で、荷電粒子の軌跡を光軸からのズレ角が±1°以下に平行化することを特徴とする静電レンズ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
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