特許
J-GLOBAL ID：201803017158749810
欠陥検出装置及び欠陥検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
特許業務法人 志賀国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-125971
公開番号（公開出願番号）：特開2017-227606
出願日： 2016年06月24日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】検査対象表面の温度分布に基づいて検査対象内部の欠陥を検出するサーモグラフィ法において、検査対象表面の温度分布が検査対象の加熱によって得られる場合の欠陥検出の精度をより向上させることができる欠陥検出装置及び欠陥検出方法を提供する。【解決手段】欠陥検出装置1は、加熱部101と、熱画像取得部112と、差分画像生成部113と、欠陥判定部114とを持つ。加熱部は検査対象を加熱する。熱画像取得部は、加熱後の前記検査対象の表面温度を示す熱画像を時系列に取得する。差分画像生成部は、前記熱画像間の差分に基づいて表される差分画像を時系列に複数生成する。欠陥判定部は、複数の前記差分画像の各画素が示す温度差の大きさに基づいて、前記検査対象内部に存在する欠陥を検出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
検査対象を加熱する加熱部と、
加熱後の前記検査対象の表面温度を示す熱画像を時系列に取得する熱画像取得部と、
前記熱画像間の差分に基づいて表される差分画像を時系列に複数生成する差分画像生成部と、
複数の前記差分画像の各画素が示す温度差の大きさに基づいて、前記検査対象内部に存在する欠陥を検出する欠陥判定部と、
を備える欠陥検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2G040AA07
, 2G040AB09
, 2G040BA25
, 2G040BA26
, 2G040CA02
, 2G040CA12
, 2G040CA23
, 2G040DA06
, 2G040DA13
, 2G040DA15
, 2G040EA06
, 2G040HA08
, 2G040HA10
, 2G040HA11
, 2G040HA14
