特許
J-GLOBAL ID：201803017239707004
測定装置及び測定装置の操作方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-004866
公開番号（公開出願番号）：特開2018-116059
出願日： 2018年01月16日
公開日（公表日）： 2018年07月26日
要約：
【課題】測定の不確かさを低減する測定装置及びその操作方法を提供する。【解決手段】各プローブユニット16、35はプローブ素子18、37を有する。各プローブ素子18、37は、探測方向xにプローブ外側、及びプローブ外側の反対側にプローブ内側18i又は37iを有する。ゼロ位置、又は探測方向xに直角な角度に参照面を決定するために、2つのプローブ素子を、各プローブ外側又は各プローブ内側18i、37iを介して接触させることができる。2つのプローブユニット16、35の内の1つが、関連するプローブ側面の間の接触を検出するとすぐに、2つのプローブ素子の間の接触点によって、参照面が探測方向xのゼロ位置として定義される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
測定装置(10)であって、
第1搬送部(15)に配置され、かつ探測方向(x)にプローブ内側(18i)を備える第1プローブ素子(18)を有する、第1プローブユニット(16)と、
第2搬送部(33)に配置され、かつ前記探測方向(x)にプローブ内側(37i)を備える第2プローブ素子(18)を有する、第2プローブユニット(35)と、
第1搬送部(15)を台座(11)に対して探測方向(x)に位置決めするように設計された、第1位置決め装置(14)、及び/又は第2搬送部(33)を前記台座(11)に対して前記探測方向(x)に位置決めするように設計された、第2位置決め装置(34)であって、前記第1プローブユニット(16)は、前記第1プローブ素子(18)が物体に接触しているかどうかを示す第1プローブ信号(T1)を生成するように設計され、及び/又は前記第2プローブユニット(35)は、前記第2プローブ素子(37)が物体に接触しているかどうかを示す第2プローブ信号(T2)を生成するように設計されている、第1位置決め装置(14)、及び/又は第2位置決め装置(34)と、
前記第1と第2のプローブ信号(T1、T2)が送信される制御ユニット(30)と、
を備え、
前記制御ユニット(30)は、
前記第1と第2の位置決め装置(14、34)を制御し、かつ前記第1プローブ素子(18)の前記プローブ内側(18i)を前記第2プローブ素子(37)の前記プローブ内側(37i)に接触させるために、前記第1と第2の位置決め装置(14、34)を制御するステップと、
前記第1プローブ信号(T1)及び/又は前記第2プローブ信号(T2)が前記2つのプローブ素子(18、37)が接触していることを示すときに、前記プローブ素子(18、37)の接触点に、前記探測方向(x)に直交する参照面(B)を決定するステップと、
を遂行する、測定装置(10)。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2F062AA01
, 2F062AA21
, 2F062AA26
, 2F062DD23
, 2F062DD24
, 2F062EE01
, 2F062EE63
, 2F062FF02
, 2F062FF07
, 2F062GG71
, 2F062GG75
, 2F062HH01
, 2F062KK02
