光検査システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 柴山健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-149823
公開番号（公開出願番号）：特開2018-017675
出願日： 2016年07月29日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
要約：

【課題】被検査物の複数の面において異物を精度良く発見することができる光検査システムを提供する。【解決手段】第1光検査装置11は、第1筐体12と、第1搬送部13と、異物Fに第1蛍光を発生させるための第1励起光を被検査物Sの第1面S1に照射する第1光照射部14と、第1蛍光を検出する第1光検出部15と、を有する。第2光検査装置21は、第2筐体22と、第2搬送部23と、異物Fに第2蛍光を発生させるための第2励起光を被検査物Sの第2面S2に照射する第2光照射部24と、第2蛍光を検出する第2光検出部25と、を有する。転換装置31は、被検査物Sの検査面を第1面S1から第2面S2に転換する。処理装置41は、第1光検出部15から出力された第1信号に基づいて被検査物Sの第1画像を生成し、第2光検出部25から出力された第2信号に基づいて被検査物Sの第2画像を生成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査物を搬送しつつ前記被検査物の第1面を検査する第1光検査装置と、前記被検査物を搬送しつつ前記被検査物の第2面を検査する第2光検査装置と、前記第1光検査装置と前記第2光検査装置との間において前記被検査物の検査面を前記第1面から前記第2面に転換する転換装置と、前記被検査物の画像を生成する少なくとも1つの処理装置と、を備え、前記第1光検査装置は、外部の光から第1検査領域を遮蔽する第1筐体と、前記第1検査領域において、前記被検査物を搬送する第1搬送部と、前記第1検査領域において、異物に第1蛍光を発生させるための第1励起光を前記被検査物の前記第1面に照射する第1光照射部と、前記第1検査領域において、前記第1蛍光を検出する第1光検出部と、を有し、前記第2光検査装置は、外部の光から第2検査領域を遮蔽する第2筐体と、前記第2検査領域において、前記被検査物を搬送する第2搬送部と、前記第2検査領域において、異物に第2蛍光を発生させるための第2励起光を前記被検査物の前記第2面に照射する第2光照射部と、前記第2検査領域において、前記第2蛍光を検出する第2光検出部と、を有し、前記処理装置は、前記第1光検出部から出力された第1信号に基づいて前記被検査物の第1画像を生成し、前記第2光検出部から出力された第2信号に基づいて前記被検査物の第2画像を生成する、光検査システム。

IPC (3件)：

G01N 21/64 , G01N 21/27 , B07C 5/342

FI (3件)：

G01N21/64 Z , G01N21/27 A , B07C5/342

Fターム (63件)：

2G043AA03 , 2G043BA17 , 2G043CA05 , 2G043DA05 , 2G043DA06 , 2G043DA08 , 2G043EA01 , 2G043EA14 , 2G043FA01 , 2G043GA07 , 2G043GA21 , 2G043GA23 , 2G043GB01 , 2G043GB03 , 2G043GB17 , 2G043GB18 , 2G043GB21 , 2G043HA01 , 2G043HA09 , 2G043JA02 , 2G043JA03 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043KA05 , 2G043LA03 , 2G043MA01 , 2G043MA16 , 2G043NA01 , 2G043NA05 , 2G059AA05 , 2G059BB11 , 2G059CC20 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059EE07 , 2G059FF01 , 2G059GG02 , 2G059GG03 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 2G059HH06 , 2G059JJ02 , 2G059JJ03 , 2G059JJ11 , 2G059KK02 , 2G059KK04 , 2G059LL04 , 2G059MM01 , 2G059MM05 , 2G059MM09 , 2G059NN01 , 2G059PP01 , 2G059PP02 , 2G059PP04 , 3F079AC02 , 3F079CB25 , 3F079CB26 , 3F079CB28 , 3F079CC01 , 3F079CC13 , 3F079DA12 , 3F079EA09

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