特許
J-GLOBAL ID：201803017280789491
保持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-212593
公開番号（公開出願番号）：特開2018-074009
出願日： 2016年10月31日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：
【課題】従来よりも安定して基材の温度を計測できる保持装置を提供する。【解決手段】保持装置1は、上面2a及び下面2bを有する板状の基材2と、下面2bに開口を有し、基材2の外縁方向に向って延びる穴部9と、を備える。穴部9には、シース熱電対11が配置される。穴部9を上面2aから下面2bに向って投影したときに、穴部9は、第1の方向に延在する第1案内部12と、第1案内部12と連続する中間案内部13を介して第1の方向とは異なる第2の方向に穴部9の奥端部まで延在する第2案内部14とを有し、穴部9の奥端部よりも開口側に配置されたシース熱電対11の中間部11cの外側面11dは中間案内部13の内壁面13aに当接し、シース熱電対11の先端部11aは穴部9の奥端部に位置している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
セラミックス焼結体からなり、上面及び該上面の反対側に位置する下面を有する板状の基材と、
前記基材の下面に開口を有し、前記基材の内部を当該基材の外縁方向に向って延びる穴部と、
を備え、
シースに格納された熱電対を有するシース熱電対が前記穴部に配置され、前記基材の上面上に対象物を保持する保持装置であって、
前記穴部を前記上面から前記下面に向って投影したときに、前記穴部は、第1の方向に延在する第1案内部と、前記第1案内部と連続する中間案内部を介して前記第1の方向とは異なる第2の方向に前記穴部の奥端部まで延在する第2案内部とを有し、
前記穴部の前記奥端部よりも前記開口側に配置された前記シース熱電対の中間部の外側面は前記中間案内部の内壁面に当接し、前記シース熱電対の先端部は前記穴部の前記奥端部に当接していることを特徴とする保持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2F056KC03
, 2F056KC06
, 2F056KC07
, 2F056KC11
, 5F131AA02
, 5F131CA02
, 5F131CA69
, 5F131EA04
, 5F131EB78
, 5F131EB79
, 5F131EB81
, 5F131KA03
, 5F131KA23
, 5F131KA54
, 5F131KA66
, 5F131KB30
