特許

J-GLOBAL ID：201803017419230079

露光装置、移動体装置、及びデバイス製造方法

発明者： 宮川 智樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-548607
特許番号：特許第6252869号
出願日： 2013年11月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 エネルギビームを照射して物体上にパターンを形成する露光装置であって、 物体を保持してベース上を移動する移動体と、 前記移動体に設けられた可動子と該可動子に対向して前記ベースに設けられた固定子とを用いて、前記移動体に前記ベースの上面に交差する第1方向及び前記上面に沿う第2方向の駆動力を発生する平面モータと、 前記移動体の少なくとも前記第2方向に関する位置を計測する第1位置計測系と、 前記第1位置計測系の計測結果を用いて前記平面モータを制御して前記移動体を少なくとも前記第2方向に駆動するとともに、前記移動体の駆動に異常を検知した場合に前記平面モータを制御して前記移動体に該移動体から前記ベースの上面への前記第1方向の駆動力を発する制御系と、 を備える露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/68 K