特許

J-GLOBAL ID：201803017541248264

フレーム固定治具

発明者： 安藤 滋
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-198871
公開番号（公開出願番号）：特開2018-060961
出願日： 2016年10月07日
公開日（公表日）： 2018年04月12日
要約：

【課題】フレームを素早くテーブル上で固定できるようにし、フレーム固定を研削屑により妨げられることなく行う。【解決手段】チャック部30とチャック部30を支持する本体部31とからなるテーブル3に装着されるフレーム固定治具4であり、固定治具4は、チャック部30外側に配設され上面で被加工物を支持するフレームFを支持し貫通孔400を有し本体部31に固定される支持枠40と、貫通孔400を貫通し係合する係合部413で支持枠40に係合しフレームFを支持枠40に押し付けるリング41とを備え、係合部413は、リング41を貫通する回転軸413aと、回転軸413a上端に固定されるツマミ413bと、回転軸413a下端に固定されるプレート413cと、を備え、支持枠40の下面の貫通孔400周囲またはプレート413c上面には貫通孔400を貫通したプレート413cが回転して回転軸413aを下方移動させる斜面を有する固定治具4である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被加工物を吸引保持する保持面を有するチャック部と、該チャック部を支持する本体部とから構成されるチャックテーブルに装着されるフレーム固定治具であって、 被加工物は、環状フレームの開口を塞ぐように環状フレームに貼着された粘着テープを介して環状フレームにより支持された状態になっており、 該フレーム固定治具は、該チャック部の外側に配設され上面で該環状フレームを支持し被係合部となる貫通孔を有し該本体部に固定されるフレーム支持枠と、該フレーム支持枠の該貫通孔を貫通し係合する係合部を有し該係合部で該フレーム支持枠に係合し該環状フレームを該フレーム支持枠に押し付ける押付リングとを備え、 該係合部は、該押付リングを貫通する回転軸と、該回転軸の上端に固定されるツマミと、該回転軸の下端に固定されるプレートと、を備え、 該フレーム支持枠の下面の該貫通孔の周囲または該プレートの上面には該貫通孔を貫通した該プレートが回転することで該回転軸を下方に移動させる斜面を有し、 該貫通孔を貫通した該プレートを該回転軸を軸に該ツマミで回転させ、該プレートの上面と該フレーム支持枠の下面とを接触させ、該斜面により該回転軸を下方に移動させて該ツマミの下面で該押付リングを押し下げることで環状フレームを該フレーム支持枠に押付けて固定するフレーム固定治具。

IPC (4件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/304 ,  B24B 41/06 ,  B23Q 3/08

FI (4件)：

H01L21/68 N ,  H01L21/304 622J ,  B24B41/06 L ,  B23Q3/08 A

Fターム (23件)：

3C016DA01 ,  3C034AA08 ,  3C034BB73 ,  3C034DD10 ,  5F057AA21 ,  5F057BA11 ,  5F057DA11 ,  5F057FA12 ,  5F057FA16 ,  5F057GB03 ,  5F057GB31 ,  5F131AA02 ,  5F131BA32 ,  5F131CA12 ,  5F131CA53 ,  5F131DA13 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DC28 ,  5F131EA05 ,  5F131EB03 ,  5F131EB33 ,  5F131EB36