特許

J-GLOBAL ID：201803017753210054

流体の体積流と相互作用するMEMSトランスデューサおよびその製造方法

発明者： ハラルド・シェンク ,  ホルガー・コンラド ,  マテュー・ガウデト ,  クラウス・シマンズ ,  ゼルギウ・ランガ ,  ベルトゥ・カイザー
出願人/特許権者： フラウンホーファー-ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン
代理人 (1件)： 野口 大輔
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-565061
公開番号（公開出願番号）：特表2018-521576
出願日： 2016年06月14日
公開日（公表日）： 2018年08月02日
要約：

流体の体積流と相互作用するMEMSトランスデューサは、キャビティを備える基板と、キャビティ内で基板に接続され、横運動方向に沿って変形可能な変形可能要素を備える電気機械トランスデューサとを含み、横運動方向に沿った変形可能要素の変形と、流体の体積流とは因果関係にある。

請求項（抜粋）：

流体の体積流(12)と相互作用するMEMSトランスデューサであって、キャビティ(16)を備える基板(14)と、前記キャビティ(16)内で前記基板(14)に接続され、横運動方向(24)に沿って変形可能な変形可能要素(22;22a〜f;30;40;150;160)を備える電気機械トランスデューサ(18;18a〜f)と、を含み、 前記横運動方向(24)に沿った前記変形可能要素(22;22a〜f;30;40;150;160)の変形と前記流体の前記体積流(12)とが因果関係にある、MEMSトランスデューサ。

IPC (8件)：

H04R 19/00 ,  B81B 3/00 ,  H04R 1/02 ,  H04R 17/00 ,  F04B 45/04 ,  F04B 45/047 ,  F04B 43/02 ,  F04B 43/04

FI (8件)：

H04R19/00 ,  B81B3/00 ,  H04R1/02 106 ,  H04R17/00 ,  F04B45/04 B ,  F04B45/047 C ,  F04B43/02 B ,  F04B43/04 B

Fターム (24件)：

3C081BA06 ,  3C081BA11 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081BA72 ,  3C081EA21 ,  3C081EA32 ,  3H077AA01 ,  3H077AA12 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077CC13 ,  3H077CC17 ,  3H077DD06 ,  3H077EE02 ,  3H077FF03 ,  3H077FF07 ,  3H077FF36 ,  5D004AA01 ,  5D004GG00 ,  5D017BC18 ,  5D021CC18 ,  5D021CC19 ,  5D021CC20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• MEMSタイプの圧力パルス発生器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-159765   出願人：コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ

審査官引用 (1件)

• MEMSタイプの圧力パルス発生器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-159765   出願人：コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ