静電チャックアセンブリ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-519127
特許番号：特許第6223333号
出願日： 2012年06月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を支持するためのパックであって、誘電材料から形成され、パック上に配置されるときに前記基板を静電気的に保持するためにパックの支持表面近傍のパック内に配置されたチャッキング電極を有するパックと、前記パックを支持するために基部から延在するリングを有する基部であって、前記基部および前記リングが、単一の材料片から製造される、基部と、前記パックと前記基部との間に間隙が形成されるように前記基部より上で前記パックを支持するために前記基部と前記パックとの間に配置されており、かつ前記基部のリング上に支持されたスペーサであって、前記パックの周辺エッジ近傍で前記パックを支持するスペーサと、を備える静電チャック。

IPC (2件)：