特許
J-GLOBAL ID：201803017799959297
ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
西浦 ▲嗣▼晴
, ▲高▼見 良貴
, 出山 匡
, 酒井 俊尚
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-199022
公開番号（公開出願番号）：特開2014-081367
特許番号：特許第6255197号
出願日： 2013年09月25日
公開日（公表日）： 2014年05月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくともヒータと感応膜とを備えてMEMS構造により形成されたガスセンサ素子と、
前記ガスセンサ素子を収納するケースとを備え、
前記ケースには前記ガスセンサ素子に前記ケースの外部から測定ガスを導入する複数のガス導入孔が設けられており、
前記ケースは、底壁部と該底壁部の周縁部から延びる周壁部と該周壁部及び前記底壁部とによって囲まれて前記底壁部と対向する位置に開口部を有する収納室とを備えたケース本体と、前記複数のガス導入孔を備えて前記開口部に嵌合される蓋部材とからなり、
前記ガスセンサ素子は、前記感応膜が前記蓋部材と所定の間隔あけて対向するように前記底壁部に対して固定され、
前記蓋部材にのみ前記複数のガス導入孔が形成されており、
前記複数のガス導入孔の数、形状寸法及び位置は、前記測定ガスが前記感応膜に直接当たらないように前記測定ガスを前記感応膜に導き、前記ヒータが発熱している間に前記ケースの内部に残留する前記測定ガスと前記ケースの外気とを自然対流により前記複数のガス導入孔を通して交換できるように定められ、
前記蓋部材を正面から見たときに、前記ガス導入孔を通して前記感応膜を見ることができないように、前記複数のガス導入孔の数、形状寸法及び位置が定められているガスセンサであって、
前記複数のガス導入孔の孔径が0.257mm〜0.394mmであることを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
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ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-348190
出願人：日本特殊陶業株式会社
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ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2007-083452
出願人：日本特殊陶業株式会社
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ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-306968
出願人：株式会社ゼクセルヴァレオクライメートコントロール
審査官引用 (3件)
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ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-348190
出願人：日本特殊陶業株式会社
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ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2007-083452
出願人：日本特殊陶業株式会社
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ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-306968
出願人：株式会社ゼクセルヴァレオクライメートコントロール
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