特許

J-GLOBAL ID：201803017928786787

物体保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、物体の保持方法、及び露光方法

発明者： 八田 澄夫 ,  白澤 正裕 ,  木南 貴之 ,  五十嵐 淑人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016075258
公開番号（公開出願番号）：WO2017-038788
出願日： 2016年08月30日
公開日（公表日）： 2017年03月09日
要約：

マスク(M)を保持するマスクステージ装置(14)は、マスク(M)を下方から支持する支持ブロック(50)と、支持ブロック(50)によって支持され、マスク(M)の自重に起因して撓んだマスク(M)の面を保持する保持面を有し、撓んだマスク(M)の面に沿うように保持面を可動させマスクを保持面で保持する吸着パッド(46)と、撓んだマスク(M)を保持面に吸着する吸引口(46b)と、を備える。

請求項（抜粋）：

物体を保持する物体保持装置であって、 前記物体を下方から支持する支持部と、 前記支持部によって支持され、前記物体の自重に起因して撓んだ前記物体の面を保持する保持面を有し、前記撓んだ物体の面に沿うように前記保持面を可動させ前記物体を前記保持面で保持する保持部と、 前記撓んだ物体を前記保持面に吸着する吸着部と、を備える物体保持装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/683

FI (2件)：

G03F7/20 501 ,  H01L21/68 P

Fターム (39件)：

2H197AA06 ,  2H197AA07 ,  2H197AA08 ,  2H197AA09 ,  2H197CA05 ,  2H197CA06 ,  2H197CA07 ,  2H197CA08 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CC11 ,  2H197CD03 ,  2H197CD06 ,  2H197CD07 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD18 ,  2H197CD44 ,  2H197CD48 ,  2H197DB09 ,  2H197GA01 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131BA13 ,  5F131CA07 ,  5F131EA02 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EB02 ,  5F131EB55 ,  5F131EB57 ,  5F131FA13 ,  5F131FA32