【請求項1】 下記一般式(a0-1)で表される化合物。
[式中、R1は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基又は炭素数1〜5のハロゲン化アルキル基であり、Y2は、炭素数1〜5の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキレン基、炭素数1〜5の直鎖状若しくは分岐鎖状のフッ素化アルキレン基、炭素数6〜15の2価の芳香族炭化水素基、芳香族炭化水素基が有する水素原子がフッ素原子で置換された炭素数6〜15の2価の芳香族炭化水素基、Y3は、単結合、又は、炭素数1〜5の直鎖状若しくは分岐鎖状のアルキレン基であり、R2は一般式(1-an1)、(1-an2)又は(1-an3)のいずれかで表される基である。R3は、下記一般式(a1-r-1)で表される基、下記一般式(a1-r-2)で表される基、第3級アルキルオキシカルボニル基、下記一般式(a2-r-1)〜(a2-r-7)のいずれかで表される基、下記一般式(ax3-r-1)〜(ax3-r-3)のいずれかで表される基、下記一般式(a5-r-1)〜(a5-r-4)のいずれかで表される基、下記一般式(a3-r-1)〜(a3-r-3)のいずれかで表される基、下記式(r-hr-1)〜(r-hr-16)のいずれかで表される基から選ばれる少なくとも1種であり、n1は、0〜2の整数である。n2は1である。Y1は単結合または-SO2-であり、R5はトリフルオロメチル基である。X+は一般式(ca-1)〜(ca-3)のいずれかで表される有機カチオンまたは金属カチオンである。]
[式中、Ra’1、Ra’2は水素原子またはアルキル基、Ra’3は炭化水素基、Ra’3は、Ra’1、Ra’2のいずれかと結合して環を形成してもよい。]
[式中、Ra’4〜Ra’6は炭化水素基であり、Ra’5、Ra’6は互いに結合して環を形成してもよい。]
[式中、Ra’21はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、水酸基、-COOR”、-OC(=O)R”、ヒドロキシアルキル基またはシアノ基であり;R”は水素原子またはアルキル基であり;A”は酸素原子もしくは硫黄原子を含んでいてもよい炭素数1〜5のアルキレン基、酸素原子または硫黄原子であり、n’は0〜2の整数であり、m’は0または1である。]
[式中、Ra’x31はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、水酸基、-COOR”、-OC(=O)R”、ヒドロキシアルキル基またはシアノ基であり;R”は水素原子またはアルキル基であり;A”は酸素原子もしくは硫黄原子を含んでいてもよい炭素数1〜5のアルキレン基、酸素原子または硫黄原子でありq’は0または1である。]
[式中、Ra’51はそれぞれ独立に水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子、ハロゲン化アルキル基、水酸基、-COOR”、-OC(=O)R”、ヒドロキシアルキル基またはシアノ基であり;R”は水素原子またはアルキル基であり;A”は酸素原子もしくは硫黄原子を含んでいてもよい炭素数1〜5のアルキレン基、酸素原子または硫黄原子であり、n’は0〜2の整数である。]
[式中、Wa’31、Wa’32、Wa’33はそれぞれ独立に(n’+1)価の脂肪族炭化水素基であり、n’は1〜3の整数であり、Ra’31はフッ素原子またはフッ素化アルキル基である。「*」は結合手を示す。]
[「*」は結合手を示す。]
[式中、R201〜R207は、それぞれ独立に置換基を有していてもよいアリール基、アルキル基またはアルケニル基を表し、R201〜R203、R206〜R207は、相互に結合して式中のイオウ原子と共に環を形成してもよい。R208〜R209はそれぞれ独立に水素原子または炭素数1〜5のアルキル基を表し、R210は置換基を有していてもよいアリール基、アルキル基、アルケニル基、又は前記一般式(a5-r-1)で表される基であり、L201は-C(=O)-または-C(=O)-O-を表す。]
C07C 309/12 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C07C 309/19 ( 200 6.01)
, C07C 309/42 ( 200 6.01)
, C07C 309/43 ( 200 6.01)
, C07C 311/48 ( 200 6.01)
, C07C 311/09 ( 200 6.01)
, C07D 493/18 ( 200 6.01)
, C07D 307/33 ( 200 6.01)
, C07D 327/04 ( 200 6.01)
, C07D 497/18 ( 200 6.01)
, C07D 307/93 ( 200 6.01)
, C09K 3/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, C07C 381/12 ( 200 6.01)
, C07C 25/00 ( 200 6.01)