特許

J-GLOBAL ID：201803018360386432

微細パターンを有する樹脂フィルムの製造方法および有機EL表示装置の製造方法ならびに微細パターン形成用基材フィルムとサポート部材付き樹脂フィルム

発明者： 西田 光志 ,  矢野 耕三 ,  岸本 克彦 ,  崎尾 進 ,  竹井 日出夫
出願人/特許権者： 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司
代理人 (1件)： 特許業務法人朝日奈特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016071617
公開番号（公開出願番号）：WO2017-056656
出願日： 2016年07月22日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：

樹脂材料を用いながら蒸着マスクや光学素子のような微細なパターン加工を正確に形成した樹脂フィルムの製造方法、および有機EL表示装置の製造方法、ならびに微細パターンを形成するための基材フィルムおよびサポート部材付き樹脂フィルムの提供。サポート部材上に液状の樹脂材料を塗布することで樹脂塗布膜を形成し(S1)、その樹脂塗布膜の温度をその樹脂材料の硬化する温度まで上昇させて樹脂焼成膜を形成する(S2)。そして、サポート部材に樹脂焼成膜が付着されている基材フィルムに、レーザ光を照射して加工することにより、所望の微細パターンを有するサポート部材付き樹脂フィルム(1b)を形成する(S3)。その後、微細パターンが形成された樹脂焼成膜をサポート部材から剥離することにより、微細パターンを有する樹脂フィルムが得られる(S5)。

請求項（抜粋）：

サポート部材上に液状の樹脂材料を塗布することで樹脂塗布膜を形成し、 前記樹脂塗布膜の温度を前記樹脂材料が硬化する温度まで上昇させて前記樹脂塗布膜を焼成することで樹脂焼成膜を形成し、 前記サポート部材に付着している前記樹脂焼成膜にレーザ光を照射して加工することにより、前記樹脂焼成膜に所望のパターンを形成し、 前記樹脂フィルムを前記サポート部材から剥離する ことを特徴とする微細パターンを有する樹脂フィルムの製造方法。

IPC (6件)：

C23C 14/04 ,  H01L 51/50 ,  H01L 27/32 ,  H05B 33/10 ,  G09F 9/30 ,  G09F 9/00

FI (6件)：

C23C14/04 A ,  H05B33/14 A ,  H01L27/32 ,  H05B33/10 ,  G09F9/30 365 ,  G09F9/00 338

Fターム (26件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC35 ,  3K107FF00 ,  3K107FF05 ,  3K107FF17 ,  3K107GG06 ,  3K107GG26 ,  3K107GG28 ,  3K107GG33 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  5C094AA43 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094FB01 ,  5C094GB01 ,  5C094JA01 ,  5C094JA20 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10