特許

J-GLOBAL ID：201803018413619680

差圧検出素子及び流量計測装置

発明者： 塩入 達也
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： とこしえ特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-202744
公開番号（公開出願番号）：特開2018-063224
出願日： 2016年10月14日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：

【課題】オフセット電圧の経時的な変動を抑制することが可能な差圧検出素子を提供する。【解決手段】差圧検出素子10は、支持部11と、支持部11に支持されていると共に、差圧に応じて弾性変形するカンチレバー部12と、カンチレバー部12の固定端121に設けられたピエゾ抵抗部131,132を含む拡散層13と、少なくとも拡散層13を覆う第1の絶縁層14と、第1の絶縁層14に積層された第2の絶縁層15と、を備えており、第2の絶縁層15は、少なくとも拡散層13の近傍において、第1の絶縁層14の端面143,144も覆っている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

支持部と、 前記支持部に支持されていると共に、差圧に応じて弾性変形する変形可能部と、 前記変形可能部の固定端に設けられたピエゾ抵抗部を含む拡散層と、 少なくとも前記拡散層を覆う第1の絶縁層と、 前記第1の絶縁層に積層された第2の絶縁層と、を備えており、 前記第2の絶縁層は、少なくとも前記拡散層の近傍において、前記第1の絶縁層の端面も覆っている差圧検出素子。

IPC (7件)：

G01L 9/00 ,  G01F 1/00 ,  G01F 1/38 ,  G01F 1/28 ,  G01L 13/06 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00

FI (8件)：

G01L9/00 303A ,  G01F1/00 S ,  G01F1/38 ,  G01F1/28 C ,  G01L13/06 R ,  H01L29/84 A ,  H01L29/84 B ,  B81B3/00

Fターム (56件)：

2F030CA04 ,  2F030CC01 ,  2F030CC11 ,  2F030CE02 ,  2F030CF09 ,  2F030CH05 ,  2F055AA39 ,  2F055BB05 ,  2F055CC12 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF38 ,  2F055GG12 ,  2F055HH11 ,  3C081AA01 ,  3C081AA13 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA26 ,  3C081CA29 ,  3C081DA03 ,  3C081DA04 ,  3C081DA29 ,  3C081DA30 ,  3C081EA03 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA09 ,  4M112CA13 ,  4M112CA14 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA29 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA08 ,  4M112DA09 ,  4M112DA10 ,  4M112DA11 ,  4M112DA12 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112FA06 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03