特許

J-GLOBAL ID：201803018443304985

レーザー及びガス流による付加製造の表面処理

発明者： スワミナサン, バーラト ,  ウン, エリック ,  パティバンドラ, ナーグ ビー. ,  ウン, ホウ ター. ,  ジョシ, アジェ エム. ,  クマル, アシャヴァニ ,  フリー, バーナード ,  クリシュナン, カシラマン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-565797
公開番号（公開出願番号）：特表2018-528872
出願日： 2016年06月17日
公開日（公表日）： 2018年10月04日
要約：

表面変更用の装置は、被加工物を保持する支持体、被加工物よりも小さい局所領域でプラズマを生成するプラズマ源、及び被加工物とプラズマ源の相対配置を操作する6軸ロボットを含む。6軸ロボットは、支持体とプラズマ源のうちの少なくとも1つに連結されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する支持体、 前記被加工物よりも小さい局所領域内でプラズマを生成するプラズマ源、及び、 前記支持体と前記プラズマ源のうちの少なくとも1つに連結され、前記被加工物と前記プラズマ源の相対配置の6軸制御を提供するロボット を備える、表面変更用の装置。

IPC (6件)：

B29C 64/268 ,  B23K 26/361 ,  B29C 64/30 ,  H05H 1/24 ,  B23K 15/00 ,  B23K 26/34

FI (6件)：

B29C64/268 ,  B23K26/361 ,  B29C64/30 ,  H05H1/24 ,  B23K15/00 508 ,  B23K26/34

Fターム (26件)：

2G084AA02 ,  2G084CC03 ,  2G084CC13 ,  2G084DD03 ,  2G084DD13 ,  2G084DD15 ,  2G084FF02 ,  2G084GG02 ,  4E066BA13 ,  4E168AD03 ,  4E168BA33 ,  4E168BA35 ,  4E168BA81 ,  4E168CA00 ,  4E168CA11 ,  4E168FB06 ,  4E168GA03 ,  4F213AP05 ,  4F213AP12 ,  4F213WA25 ,  4F213WA54 ,  4F213WA73 ,  4F213WA86 ,  4F213WB01 ,  4F213WL02 ,  4F213WL92