特許
J-GLOBAL ID：201803018721621385
共振センサ、ジャイロスコープセンサ及びジャイロスコープセンサの形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
, 本田 淳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-022727
公開番号（公開出願番号）：特開2016-148659
特許番号：特許第6248129号
出願日： 2016年02月09日
公開日（公表日）： 2016年08月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 軸に沿って延びるステムと、前記ステムから延びるシェルであって、前記ステムから延びる半球部ならびに前記半球部から延び外面および内面を有し前記外面および前記内面に対して垂直である軸方向端面に至る円筒部を有しているシェルと、を有する共振器と、
軸に沿って延び前記軸周りに環状に配置された内側電極のセット、および内側円筒基板の中心領域を前記軸に沿って貫通する流路を有する内側円筒基板と、
を備え、前記ステムは前記流路を貫通して前記共振器の前記円筒部の前記内面の内部に前記内側円筒基板を位置させて、前記円筒部の前記内面と前記内側電極のセットとの間にギャップを形成する、共振センサであって、
前記共振センサが外側円筒基板をさらに備えており、該外側円筒基板は、軸に沿って延びており上面および下面を含んでおりリム電極のセットが前記上面において周方向に配置されており、前記外側円筒基板は、電極のセットが前記共振器の前記円筒部の前記軸方向端面周りに間隔を置いて配置されるように位置して、前記リム電極のセットと前記軸方向端面との間にギャップを形成し、
前記内側電極のセットは振幅ピックオフおよびフォーサ電極ならびに速度ピックオフおよびフォーサ電極であり、前記リム電極のセットは直交制御電極である、共振センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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