特許
J-GLOBAL ID：201803018864164147
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
北野 修平
, 田中 勝也
, 西村 英人
, 庄司 晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-216066
公開番号（公開出願番号）：特開2018-072287
出願日： 2016年11月04日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：
【課題】低コストで検出精度を向上させた圧力センサを提供することを目的とする。【解決手段】圧力センサ1は、第1絶縁層10と、導電層30と、第2絶縁層20と、第1検出電極部40と、第2検出電極部50と、引き出し電極部60と、を備える。第2絶縁層20は、導電層30上に積層され、厚み方向に貫通する第1の貫通孔93および第2の貫通孔94が形成される。第1検出電極部40は、第1絶縁層10の導電層30に対向する面上の一部に配置される。引き出し電極部60は、第2絶縁層20の第2の貫通孔94を取り囲む壁面上に配置される。導電層30は、ダイヤフラム部301と、アイランド部302と、を含む。第1検出電極部40は、アイランド部302の第1絶縁層10側の端部に接続される。引き出し電極部60は、アイランド部302の第2絶縁層20側の端部に接続される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1絶縁層と、
前記第1絶縁層上に積層される導電層と、
前記導電層上に積層され、厚み方向に貫通する第1の貫通孔および第2の貫通孔が形成される第2絶縁層と、
前記第1絶縁層の前記導電層に対向する面上の一部に配置される第1検出電極部と、
前記第2絶縁層の前記導電層に対向する面上の一部から前記第1の貫通孔を取り囲む壁面まで延在するように配置される第2検出電極部と、
前記第2絶縁層の前記第2の貫通孔を取り囲む壁面上に配置される引き出し電極部と、
を備え、
前記導電層は、
前記第1絶縁層との間に基準圧力空間を形成するとともに、前記第2絶縁層との間に前記第1の貫通孔と連通する測定圧力空間を形成することにより、他の部分に比べて厚みの薄いダイヤフラム部と、
平面的に見て前記第2の貫通孔に重なる位置であって、前記ダイヤフラム部とは離れた位置に配置され、厚み方向に貫通する環状の空間に取り囲まれるアイランド部と、を含み、
前記第1検出電極部は、前記アイランド部の前記第1絶縁層側の端部に接続され、
前記引き出し電極部は、前記アイランド部の前記第2絶縁層側の端部に接続される、圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L9/00 305H
, H01L29/84 Z
2F055AA40
, 2F055BB01
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055GG11
, 4M112AA01
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA11
, 4M112CA13
, 4M112CA14
, 4M112DA02
, 4M112DA09
, 4M112DA15
, 4M112EA03
, 4M112EA10
, 4M112EA13
, 4M112FA20
