特許

J-GLOBAL ID：201803019224631004

試料保持具

発明者： 大窪 知行
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-087097
公開番号（公開出願番号）：特開2018-185972
出願日： 2017年04月26日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：

【課題】 発熱抵抗体と給電パッドとの接合部の耐久性を向上させる。 【解決手段】 本発明の試料保持具10は、一方の主面が試料保持面11であるセラミック基体と1、該セラミック基体1の他方の主面に設けられた発熱抵抗体2と、該発熱抵抗体2の少なくとも一部に重ねて設けられた給電パッド3と、該給電パッド3に接合された給電端子4とを備えており、前記発熱抵抗体2は、前記給電パッド3が重ねて設けられている部位において穴部21を有しており、前記給電パッド3の一部は、前記発熱抵抗体2の前記穴部21に入り込んでいることを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

一方の主面が試料保持面であるセラミック基体と、該セラミック基体の他方の主面に設けられた発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の少なくとも一部に重ねて設けられた給電パッドと、該給電パッドに接合された給電端子とを備えており、 前記発熱抵抗体は、前記給電パッドが重ねて設けられている部位において穴部を有しており、 前記給電パッドの一部は、前記発熱抵抗体の前記穴部に入り込んでいることを特徴とする試料保持具。

IPC (4件)：

H05B 3/02 ,  H05B 3/74 ,  H05B 3/20 ,  H01L 21/683

FI (4件)：

H05B3/02 B ,  H05B3/74 ,  H05B3/20 393 ,  H01L21/68 N

Fターム (39件)：

3K034AA02 ,  3K034AA10 ,  3K034AA34 ,  3K034AA37 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034CA03 ,  3K034CA14 ,  3K034CA22 ,  3K034CA27 ,  3K034HA01 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB30 ,  3K092QB43 ,  3K092QB74 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC19 ,  3K092QC42 ,  3K092QC49 ,  3K092QC52 ,  3K092QC58 ,  3K092RF11 ,  3K092VV36 ,  5F131AA02 ,  5F131AA32 ,  5F131CA02 ,  5F131CA09 ,  5F131CA17 ,  5F131EA04 ,  5F131EB17 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81

引用特許：

審査官引用 (3件)

• セラミック温調器およびセラミック温調ユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-101611   出願人：イビデン株式会社
• ウエハ支持部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-020085   出願人：京セラ株式会社
• セラミックヒータおよびこれを用いたウエハ加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-185914   出願人：京セラ株式会社