特許
J-GLOBAL ID：201803019234088120
露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-550210
特許番号：特許第6245179号
出願日： 2013年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する液浸部材を備え、
前記液浸部材は、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置され、第1面を有する第1部材と、
前記第1部材と間隙を介して前記第1部材の下方で移動可能であり、前記第1面と対向する第2面と前記液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口とを有する第2部材と、
前記第1面と前記第2面との間隙に対する前記液体の浸入を抑制する抑制部と、
を備え、
前記第2部材は、前記物体との相対速度が、前記第1部材と前記物体との相対速度よりも小さくなるように移動する露光装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
