特許

J-GLOBAL ID：201803019383191430

ダイクロイックミラーアレイ

発明者： 穴沢 隆 ,  山崎 基博
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 特許業務法人平木国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016055032
公開番号（公開出願番号）：WO2017-145231
出願日： 2016年02月22日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
要約：

複数のダイクロイックミラーを配列したダイクロイックミラーアレイであり,各ダイクロイックミラーの幅,厚さ,材質,傾き,間隔,段差の間で所定の関係を満足させることにより,ダイクロイックミラーアレイを小型化して光路長を縮小すると同時に,開口幅の拡大を実現するダイクロイックミラーアレイ。

請求項（抜粋）：

N≧2として,番号1,2,・・・,Nの複数のダイクロイックミラーを,第1の方向に,番号順に配列したダイクロイックミラーアレイであって, 前記複数のダイクロイックミラーの正面の法線ベクトルが,前記第1の方向の正の成分と,前記第1の方向と垂直な第2の方向の負の成分の和から構成され, 前記複数の法線ベクトルが互いに略平行であり, 0≦θ0≦90°として,前記複数の法線ベクトルと前記第2の方向と反対方向のなす角度の平均をθ0, 前記ダイクロイックミラーの基材の屈折率の平均をn0, 前記ダイクロイックミラーの基材の幅の平均をα, 前記ダイクロイックミラーの基材の厚さの平均をβ, 前記ダイクロイックミラーの間隔の平均をx, 2≦n≦Nとして,番号nのダイクロイックミラーの前記第2の方向の端を,番号n-1のダイクロイックミラーの前記第2の方向の端に対して,前記第2の方向と反対方向にずらす距離の平均をyz,とするとき, θ0,n0,α,β,x,yzが,前記ダイクロイックミラーアレイの開口幅を拡大又は光路長を縮小できるように,予め定められた所定の関係を満足する,ダイクロイックミラーアレイ。

IPC (4件)：

G02B 27/10 ,  G02B 5/26 ,  G01J 3/51 ,  G01J 3/36

FI (4件)：

G02B27/10 ,  G02B5/26 ,  G01J3/51 ,  G01J3/36

Fターム (6件)：

2G020CC28 ,  2G020CC63 ,  2G020CD03 ,  2H148FA01 ,  2H148FA09 ,  2H148FA15