特許

J-GLOBAL ID：201803019384991694

表面性状検査装置、表面性状検査方法及びプログラム

発明者： 中田 武男 ,  酒井 宏樹 ,  筒井 俊博 ,  真坂 剛史
出願人/特許権者： 新日鐵住金株式会社
代理人 (4件)： 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司 ,  松本 一騎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-185976
公開番号（公開出願番号）：特開2018-048979
出願日： 2016年09月23日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
要約：

【課題】中間素材であるビレット等を熱間成形した後の材料を機械加工することで得られる機械加工品について、地肌残存部及び錆を顕在化しつつ、機械加工品の表面形状を検査すること。【解決手段】本発明に係る表面性状検査装置は、機械加工品を被検査体とし、移動する被検査体の表面に線状レーザ光を照射し、線状レーザ光が照射された表面を撮像して光切断画像を生成する被検査体撮像装置と、生成された光切断画像に対して画像処理を行う演算処理装置とを備える。演算処理装置は、光切断画像から得られた縞画像フレームに基づき、深さ画像、輝度画像及び線幅画像を算出する画像算出部と、算出された深さ画像、輝度画像及び線幅画像に基づいて、被検査体の表面性状を検出する検出処理部と、を有し、検出処理部は、線幅画像に基づいて、地肌残存部又は錆が被検査体の表面に存在しているかを検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

中間素材を素材とした機械加工品を被検査体とする表面性状検査装置であって、 移動する前記被検査体の表面に線状のレーザ光を照射し、当該線状のレーザ光が照射された前記表面を撮像することで、前記表面における前記線状のレーザ光の撮像画像である光切断画像を前記被検査体の移動方向に沿って複数生成する被検査体撮像装置と、 前記被検査体撮像装置により生成された前記光切断画像に対して画像処理を行い、前記被検査体の表面の表面性状を判断する演算処理装置と、 を備え、 前記被検査体撮像装置は、 前記線状のレーザ光を前記被検査体の表面に対して照射する照明装置と、 前記線状のレーザ光が照射された前記表面を撮像する撮像装置と、 を有し、 前記演算処理装置は、 複数の前記光切断画像それぞれにおける前記線状のレーザ光の照射部分に対応する線分である光切断線を前記移動方向に沿って順に配列させた縞画像フレームに基づいて、前記被検査体の表面の凹凸状態を表す深さ画像と、前記被検査体の表面における前記線状のレーザ光の輝度分布を表す輝度画像と、前記被検査体の表面における前記線状のレーザ光の前記移動方向の線幅の分布を輝度値に対応づけた線幅画像と、を算出する画像算出部と、 算出された前記深さ画像、前記輝度画像及び前記線幅画像に基づいて、前記被検査体の表面性状を検出する検出処理部と、 を有し、 前記検出処理部は、前記線幅画像に基づいて、前記中間素材を素材とした地肌残存部又は錆が、前記被検査体の表面に存在しているか否かを検出する、表面性状検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/892 ,  G01B 11/30 ,  G01B 11/02

FI (3件)：

G01N21/892 B ,  G01B11/30 A ,  G01B11/02 H

Fターム (29件)：

2F065AA25 ,  2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065CC06 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB03 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051DA06 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02