特許

J-GLOBAL ID：201803019420899708

光検出装置

発明者： 大牧 正幸 ,  中井 賢也
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (4件)： 前田 実 ,  山形 洋一 ,  佐藤 賢改 ,  篠原 昌彦
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016072777
公開番号（公開出願番号）：WO2017-026344
出願日： 2016年08月03日
公開日（公表日）： 2017年02月16日
要約：

光検出装置(9)は、回折素子(2)及び光検出素子(3)を備える。回折素子(2)は、入射した光束(1)を回折する。光検出素子(3)は、回折光(10)を受光する受光部(31,32,33,34)を含む。回折素子(2)は、光束(1)を分割して回折光(10)を複数生成する。光検出素子(3)は、複数の回折光(10)の光量を基に回折素子(3)に対する光束(1)の変位を判別する。光検出素子(3)は、1つの回折光(10)の光量を分割して回折素子(3)に対する光束(1)の角度変化を判別する。

請求項（抜粋）：

入射した光束を回折する回折素子と、 前記回折光を受光する受光部を含む光検出素子と を備え、 前記回折素子は、前記光束を分割して回折光を複数生成し、 前記光検出素子は、複数の前記回折光の光量を基に前記回折素子に対する前記光束の変位を判別し、1つの前記回折光の光量を分割して前記回折素子に対する前記光束の角度変化を判別する光検出装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01S 7/481 ,  G01S 17/95

FI (3件)：

G01M11/00 T ,  G01S7/481 A ,  G01S17/95

Fターム (11件)：

2G086EE12 ,  5J084AA05 ,  5J084AA06 ,  5J084AA10 ,  5J084AB08 ,  5J084AC04 ,  5J084BA03 ,  5J084BA34 ,  5J084BB02 ,  5J084BB04 ,  5J084CA67