弁の故障検知装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173932
公開番号（公開出願番号）：特開2014-031861
特許番号：特許第6229249号
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】対象物に導電性の液体を塗布する塗布装置の弁の故障検知装置であって、前記塗布装置は、前記液体を収容し、塗布の際に前記液体を前記対象物に提供する供給容器と、前記液体が通る流路と、前記流路を開閉可能であって、所定の条件時に開放する弁と、を備えており、前記弁の故障検知装置は、前記弁の両端の流路内にそれぞれ液体と接するように設置される2本の電極と、前記2本の電極間のインピーダンスを検知する変換手段と、前記弁の開閉によって前記電極間のインピーダンスに差が生じることを利用して、前記弁の両端の流路内の前記導電性の液体の有無を検出することで、前記弁の故障検知を行う判別手段と、を有することを特徴とする、液体塗布装置の弁の故障検知装置。

IPC (2件)：