特許
J-GLOBAL ID：201803019587581017
異物付着防止機能を備えた電子線検査装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小野 新次郎
, 宮前 徹
, 鐘ヶ江 幸男
, 松尾 淳一
, 渡邊 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-040808
公開番号（公開出願番号）：特開2016-106374
特許番号：特許第6255047号
出願日： 2016年03月03日
公開日（公表日）： 2016年06月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子線を用いて試料表面を検査する電子線検査装置であって、
電子ビーム源と、
前記電子ビーム源から放射された電子ビームを導く一次系レンズを備えた一次電子光学系と、
前記一次電子光学系により導かれた一次電子が照射される試料を配置するステージと、
前記電子ビームの照射により前記試料の表面から放出された二次電子及び該表面若しくはその近傍から反射されたミラー電子の少なくとも一方を導く二次電子光学系であって、二次系レンズとNA(開口数)を規定するアパーチャとを備えた二次電子光学系と、
前記二次電子光学系により導かれた二次電子及びミラー電子の少なくとも一方を検出する検出器と、
前記ステージに配置される試料に第1電圧を印加する第1電源と、
試料表面から検出器に向かう電子がミラー電子と二次電子との両方を含む遷移領域となるように、撮像用の電子ビームのエネルギ及び前記試料に印加されるエネルギを制御する電子光学系制御電源と、
前記アパーチャの位置を、二次電子光学系の光軸と直交する面内で調整可能とするアパーチャ調節機構であって、試料表面の導電領域及び絶縁領域のいずれか一方からの電子を選択的に前記検出器に導くことができるようにしたアパーチャ調節機構と、
前記ステージに配置される試料の周囲を包囲する位置に配置され、塵又はパーティクルを集塵する少なくとも1つの第1電極と、
前記第1電圧と同じ極性を有し、かつ該第1電圧の絶対値以上の絶対値を有する第2電圧を、前記第1電極に印加する第2電源と、
前記第1電源に接続された一対の端子と前記第2電源に接続された一対の端子とを備えた端子台と、
前記端子台の二対の端子に一方の端部がそれぞれ接続された二対の接続線を有するケーブルと、
前記端子台を収納しているとともに前記ケーブルの一部分を湾曲した状態で収納した箱
であって、該箱内の塵又はパーティクルを集塵する第2電極をさらに収容している箱と、
前記ケーブルの二対の接続線の他方の端部にそれぞれ接続された二対の端子を少なくとも備え、かつ前記ステージに固定された固定板であって、前記固定板の二対の端子は前記第1及び第2電圧を試料及び前記第1電極に印加するためのものである固定板と、
を備え、
前記箱と前記固定板との間の前記ケーブルの部分は直線状に延在保持されており、前記ステージの移動に連れて前記箱内の前記ケーブルの湾曲した部分が前記ステージの移動方向に伸縮するよう構成されている、
ことを特徴とする電子線検査装置。
IPC (5件)：
H01J 37/20 ( 200 6.01)
, H01J 37/29 ( 200 6.01)
, H01J 37/09 ( 200 6.01)
, H01J 37/244 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
H01J 37/20 G
, H01J 37/29
, H01J 37/09 A
, H01J 37/244
, H01L 21/66 J
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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