研磨装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：家入健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-202608
公開番号（公開出願番号）：特開2018-062698
出願日： 2016年10月14日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：

【課題】金属の研磨を行う際の加工時間を短縮すること。【解決手段】研磨装置は、導電性のワークピース11に、電解液が内部に充填された電解液用ノズル12を接触させ、電解液用ノズル12内の電解液を介してワークピース11に電流を流すことで、ワークピース11を研磨する。電解液用ノズル12は、ワークピース11と接触し電解研磨を行う研磨部21と、研磨部21に電解液を供給する供給部22と、研磨部21から電解液を排出する排出部23と、を備え、研磨部21では、供給部22から供給された電解液を旋回させ、排出部23から電解液を排出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

導電性のワークピースに、電解液が内部に充填された電解液用ノズルを接触させ、前記電解液用ノズル内の電解液を介して前記ワークピースに電流を流すことで、前記ワークピースを研磨する研磨装置であって、前記電解液用ノズルは、前記ワークピースと接触し電解研磨を行う研磨部と、前記研磨部に前記電解液を供給する供給部と、前記研磨部から前記電解液を排出する排出部と、を備え、前記研磨部では、前記供給部から供給された前記電解液を旋回させ、前記排出部から前記電解液を排出する研磨装置。

IPC (1件)：

C25F 7/00

FI (1件)：

C25F7/00 M

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭53-039936
特公昭50-007540
特開昭52-086934

全件表示

前のページに戻る