内部に方向性構造を有する材料における欠陥検出方法及びその装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新保斉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-510881
公開番号（公開出願番号）：特表2018-530748
出願日： 2016年09月14日
公開日（公表日）： 2018年10月18日
要約：

【課題】現在の検出によって検出できない、構造化された材料における方向性欠陥及び他の欠陥の非破壊検出及び画像化方法を提供すること。【解決手段】入射角(α)の大きさを含めて、物体(3)の位置、電離放射線のビームの線源(2)、及び検出器(8)の幾何学的配置を知ると同時に、検査物体(3)を照射する電離放射線の入射ビームを傾ける。電離放射線の減衰されたビーム又は散乱されたビームを検出することに基づいて、内部構造を有する材料における方向性欠陥の画像が得られる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

内部に方向性構造を有する材料における欠陥(11)を検出するための方法であって、該方法では、内部に方向性構造を有する材料から成る検査物体(3)の少なくとも一部分が、電離放射線の少なくとも1つのビームによって制御された方法で照射され、且つ、その時、前記検査物体(3)から現れる電離放射線のビームが、少なくとも1つの検出器(8)によって検出され、且つ、その時、前記物体(3)に達する電離放射線の入射ビームと、前記物体(3)から現れる電離放射線の前記ビームとの間での、少なくとも1つの違いに基づいて、内部に方向性構造を有する前記材料の品質が、前記物体(3)の検査部分について分析される方法において、前記検査物体(3)を照射する電離放射線の前記ビームは、電離放射線の前記入射ビーム(1)と試料表面法線との間に鋭角(α)を形成し、電離放射線の前記ビームは、異なる長さを有する軌道上に、向きが付けられた、内部に方向性構造を有する材料の異方性欠陥のエリアにおいて、前記物体(3)を通過し、電離放射線の前記ビームは、不均等に減衰され且つ/又は散乱され、且つ前記物体(3)から現れる電離放射線の変更されたビームは、前記検出器(8)に達し、前記検出器(8)は、前記材料の向きが付けられた、内部の方向性構造を通る異なる軌道によって、電離放射線の前記ビームの減衰及び/又は散乱の度合いに対応する、少なくとも1つの信号を発生させ、且つ、続いて、前記物体(3)の材料の内部の方向性構造における異方性欠陥の記録(13)が創出されることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01N 23/18 , G01N 23/04 , G01N 23/083

FI (3件)：

G01N23/18 , G01N23/04 , G01N23/083

Fターム (6件)：

2G001AA01 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001GA01 , 2G001KA03 , 2G001LA05

引用特許：

審査官引用 (1件)

複合層構造の計算機式断層写真検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-209360 出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

引用文献：

審査官引用 (2件)

Carbon Fibre Preform Inspection by Circular X-ray Tomosynthesis
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