特許
J-GLOBAL ID：201803020056265950
顕微鏡検査撮像システムにおいて対物レンズの焦点位置を決定するためのシステム、方法、およびデバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山本 秀策
, 森下 夏樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-516173
特許番号：特許第6275704号
出願日： 2013年06月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 顕微鏡検査撮像システムにおいて試料ホルダの測定場所に位置付けられた対物レンズに対する焦点位置を決定する方法であって、前記方法は、
前記対物レンズを前記対物レンズと前記試料ホルダとの間のそれぞれの距離に対応する複数のz-位置に移動させることであって、前記対物レンズのz-位置は、前記試料ホルダに対してZ-軸に沿ったz-位置である、ことと、
前記対物レンズが前記複数のz-位置内の個々のz-位置に位置しているときに集束光ビームを前記試料ホルダ上に投影することであって、前記対物レンズは、前記集束光ビームを前記試料ホルダ上に集束させる、ことと、
前記試料ホルダの調整された上側表面からの前記集束光ビームの反射から生じる複数の反射光ビームを観察することであって、前記複数の反射光ビームは、それぞれ、前記個々のz-位置に対応し、かつ、それぞれ、複数の焦点スコアに対応する、ことと、
前記反射光ビームに基づいて、前記対物レンズに対する焦点位置を決定することであって、前記対物レンズが前記焦点位置に位置している場合、前記対物レンズは、前記測定場所に常駐する顕微鏡検査試料の焦点画像を生成する、ことと
を含み、
前記調整された上側表面は、前記上側表面に塗布された反射コーティングを含み、
前記方法は、
前記複数の焦点スコア内のどの焦点スコアが最大焦点スコアであるかを決定することと、
前記対物レンズに対する焦点位置として、前記最大焦点スコアに対応する前記複数のz-位置内のz-位置を識別することと
をさらに含み、
前記複数の反射光ビーム内の反射光ビームのうちの少なくとも1つは、前記試料ホルダの前記上側表面に塗布された前記反射コーティングからの前記集束ビームの反射から生じていない比較的弱い反射光ビームに関して比較的強い反射光ビームであり、
前記方法は、
前記比較的強い反射光ビームを撮像するように構成されている撮像デバイスの動作に対応する制御設定を受信することと、
前記制御設定を使用する前記撮像デバイスを用いて、前記比較的強い反射光ビームの画像を得ることと、
前記比較的強い反射光ビームの前記画像に基づいて、前記比較的強い反射光ビームに対応する焦点スコアを決定することと
をさらに含み、前記制御設定は、前記画像が前記比較的弱い反射光ビームを含まないように選択されている、方法。
IPC (6件)：
G02B 21/00 ( 200 6.01)
, G01C 3/06 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G02B 7/28 ( 200 6.01)
, G02B 7/36 ( 200 6.01)
, G03B 13/36 ( 200 6.01)
G02B 21/00
, G01C 3/06 120 P
, G01B 11/00 H
, G02B 7/28 J
, G02B 7/36
, G03B 13/36
