特許
J-GLOBAL ID:201803020329153971
光学特性測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-219825
公開番号(公開出願番号):特開2018-077163
出願日: 2016年11月10日
公開日(公表日): 2018年05月17日
要約:
【課題】光学特性の測定値の変動を抑制できる光学特性測定装置を提供する。【解決手段】発光素子に電力供給するプローブと、該発光素子から放射された光を検出する受光部と、を備えた光学特性測定装置において、前記プローブは、表面に黒色化成被膜を有し、前記発光素子に接触する先端が該黒色化成被膜に覆われずに露出する、ことを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
発光素子に電力供給するプローブと、該発光素子から放射された光を検出する受光部と、を備えた光学特性測定装置において、
前記プローブは、表面に黒色化成被膜を有し、前記発光素子に接触する先端が該黒色化成被膜に覆われずに露出する、
ことを特徴とする光学特性測定装置。
IPC (3件):
G01M 11/00
, H01L 33/00
, G01R 29/24
FI (3件):
G01M11/00 T
, H01L33/00 K
, G01R29/24 J
Fターム (3件):
2G086EE03
, 5F241AA46
, 5F241CA12
引用特許:
審査官引用 (1件)
-
プローブカード
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-183136
出願人:株式会社日本マイクロニクス
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