特許
J-GLOBAL ID:201803020351704078
収差補正光学ユニット及びレーザー顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
青木 篤
, 鶴田 準一
, 南山 知広
, 河野 努
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-530574
特許番号:特許第6265898号
出願日: 2013年08月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光学系により生じる波面収差を補正する収差補正光学ユニットであって、
光学軸を有し、前記光学系を通る光束のうちの前記光学軸と平行な偏光成分について、前記光学系の波面収差の所定の成分を補正する第1の位相変調素子と、
光学軸を有し、前記光束のうちの前記光学軸と平行な偏光成分について、前記波面収差の前記所定の成分を補正する第2の位相変調素子と、
前記第1の位相変調素子と前記第2の位相変調素子との間に配置され、光学軸を有し、前記光束の偏光特性を変更可能な可変波長板と、
を有し、
前記可変波長板の光学軸が前記第1の位相変調素子の光学軸、または前記第2の位相変調素子の光学軸と所定の角度をなすように前記可変波長板が配置されることを特徴とする収差補正光学ユニット。
IPC (2件):
G02F 1/13 ( 200 6.01)
, G02B 21/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G02F 1/13 505
, G02B 21/00
引用特許:
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