特許
J-GLOBAL ID：201803020532762746
ロールツーロール方式による長尺基材の処理装置及びこれを用いた成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
辻川 典範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-162786
公開番号（公開出願番号）：特開2018-031038
出願日： 2016年08月23日
公開日（公表日）： 2018年03月01日
要約：
【課題】サイズを大型化することなく両面処理用又は片面処理用の経路を選択可能なロールツーロール方式の処理装置の提供。【解決手段】真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムFをその搬送経路上に設けた2個のキャンロール17、23の外周面にそれぞれ巻き付けて冷却しながら該外周面に対向する位置に設けた表面処理手段41〜48で表面処理する処理装置であって、後流側のキャンロール23は、その外周面に長尺樹脂フィルムFを巻き付ける働きを有する送込み送出し機構が上下に2セット設けられており、長尺樹脂フィルムFがこれら2セットの送込み送出し機構のうちの下側を走行する時と、上側を走行する時とではキャンロール23の外周面に接する長尺樹脂フィルムFの面が互いに逆になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内において巻出ロールから巻取ロールまでロールツーロールで搬送される長尺基材をその搬送経路上に設けた少なくとも2個のキャンロールの外周面にそれぞれ巻き付けて冷却しながら該外周面に対向する位置に設けた表面処理手段で表面処理するロールツーロール処理装置であって、
前記少なくとも2個のキャンロールのうちの少なくとも1つは、その外周面に長尺基材を巻き付ける働きを有する送込み送出し機構が2セット設けられており、これら2セットの送込み送出し機構のうちの一方を長尺基材が走行する時と、他方を長尺基材が走行する時とでは対応するキャンロールの外周面に接する長尺基材の面が互いに逆になることを特徴とするロールツーロール処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/56 B
, B65H27/00 Z
3F104AA03
, 3F104FA01
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA08
, 4K029BA25
, 4K029BD02
, 4K029CA05
, 4K029DC16
, 4K029DC39
, 4K029JA10
, 4K029KA03
