特許

J-GLOBAL ID：201803020612802960

粒子状物質の測定装置用部品およびその製造方法

発明者： 村松 大樹 ,  村元 康人 ,  井上 将吾
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016084551
公開番号（公開出願番号）：WO2017-090587
出願日： 2016年11月22日
公開日（公表日）： 2017年06月01日
要約：

粒子状物質の測定装置用部品は、セラミックスから成り内部にガスの流れる流路を有する基部と、前記流路を複数に区切るように前記流路の内部に設けられた多孔質セラミックスから成るフィルタ部と、前記基部に前記フィルタ部を挟むように設けられた静電容量形成用の一対の電極とを備えており、前記基部の前記流路の壁面が前記フィルタ部の表面よりも緻密である。

請求項（抜粋）：

セラミックスから成り内部にガスの流れる流路を有する基部と、前記流路を複数に区切るように前記流路の内部に設けられた多孔質セラミックスから成るフィルタ部と、前記基部に前記フィルタ部を挟むように設けられた静電容量形成用の一対の電極とを備えており、 前記基部の前記流路の壁面が前記フィルタ部の表面よりも緻密である粒子状物質の測定装置用部品。

IPC (1件)：

G01N 27/22

FI (1件)：

G01N27/22 Z

Fターム (9件)：

2G060AA03 ,  2G060AD03 ,  2G060AE20 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060GA01 ,  2G060HB01 ,  2G060JA07 ,  2G060KA09