特許

J-GLOBAL ID：201803020675389663

傾斜組成膜、それを具備しているガスバリアー性フィルム及び電子デバイス

発明者： 森 孝博
出願人/特許権者： コニカミノルタ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人光陽国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016084582
公開番号（公開出願番号）：WO2017-090599
出願日： 2016年11月22日
公開日（公表日）： 2017年06月01日
要約：

本発明の課題は、高いガスバリアー性を有する傾斜組成膜、それを具備しているガスバリアー性フィルム及び電子デバイスを提供することである。 本発明の傾斜組成膜は、遷移金属と、非遷移金属とを含有する傾斜組成膜であって、前記傾斜組成膜の断面のEDSライン分析によって得られる前記遷移金属と非遷移金属の検出強度を、表面から厚さ方向に変化する検出強度曲線として測定したとき、前記遷移金属の検出強度が増加し、かつ、前記非遷移金属の検出強度が減少する傾斜領域を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

遷移金属と、非遷移金属とを含有する傾斜組成膜であって、前記傾斜組成膜の断面のEDSライン分析によって得られる前記遷移金属と非遷移金属の検出強度を、表面から厚さ方向に変化する検出強度曲線として測定したとき、前記遷移金属の検出強度が増加し、かつ、前記非遷移金属の検出強度が減少する傾斜領域を有することを特徴とする傾斜組成膜。

IPC (4件)：

B32B 9/00 ,  H05B 33/04 ,  H01L 51/50 ,  C23C 14/08

FI (4件)：

B32B9/00 A ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A ,  C23C14/08

Fターム (36件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107BB02 ,  3K107CC23 ,  3K107CC41 ,  3K107DD17 ,  3K107DD19 ,  3K107EE45 ,  3K107FF00 ,  3K107FF15 ,  4F100AA01A ,  4F100AA12A ,  4F100AA17A ,  4F100AA20A ,  4F100AG00 ,  4F100AT00B ,  4F100BA01 ,  4F100BA02 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10B ,  4F100BA44 ,  4F100EH66 ,  4F100GB41 ,  4F100JD02A ,  4F100JD04 ,  4F100JM02 ,  4F100YY00A ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BB02 ,  4K029BD01 ,  4K029CA06 ,  4K029DC39 ,  4K029FA07