特許
J-GLOBAL ID：201803020810008381
振動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人スズエ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-238903
公開番号（公開出願番号）：特開2018-096722
出願日： 2016年12月08日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
要約：
【課題】 同位相モードの振動成分を抑制することが可能な振動装置を提供する。【解決手段】 実施形態に係る振動装置は、第1の軸に対して平行な方向に配列され且つ第1の軸に対して平行な方向に振動可動な第1及び第2の可動部を含む第1の可動ユニット10と、第1の軸に対して垂直な第2の軸に対して平行な方向に振動可動な第2の可動ユニット40と、第1の可動ユニットと第2の可動ユニットとを接続する接続ユニット50とを備え、第1の可動ユニットの同位相モードでの共振周波数をfi とし、第1の可動ユニットの逆位相モードでの共振周波数をfa とし、第1の可動ユニットの逆位相モードでの共振のQ値をQa として、以下の関係が満たされる fi >(1+1/(2Qa))fa ものである。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1の軸に対して平行な方向に配列され且つ前記第1の軸に対して平行な方向に振動可動な第1及び第2の可動部を含む第1の可動ユニットと、
前記第1の軸に対して垂直な第2の軸に対して平行な方向に振動可動な第2の可動ユニットと、
前記第1の可動ユニットと前記第2の可動ユニットとを接続する接続ユニットと、
を備えた振動装置であって、
前記第1の可動ユニットの同位相モードでの共振周波数をfi とし、前記第1の可動ユニットの逆位相モードでの共振周波数をfa とし、前記第1の可動ユニットの逆位相モードでの共振のQ値をQa として、以下の関係が満たされる
fi >(1+1/(2Qa))fa
ことを特徴とする振動装置。
IPC (3件)：
G01C 19/574
, H01L 29/84
, B81B 3/00
G01C19/574
, H01L29/84 Z
, B81B3/00
2F105BB03
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD13
, 2F105CD20
, 3C081AA13
, 3C081BA07
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081EA02
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112FA20
