特許

J-GLOBAL ID：201803020878480232

置換サイト計測装置および置換サイト計測方法

発明者： 阿南 義弘 ,  高口 雅成
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 青稜特許業務法人
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016071810
公開番号（公開出願番号）：WO2018-020565
出願日： 2016年07月26日
公開日（公表日）： 2018年02月01日
要約：

電子線を用いた置換サイト計測装置において、試料内で生じる回折X線のX線強度を低減または無くし、マイクロメートルからナノメートルオーダー領域の置換サイト構造解析を高精度に行う。電子線を試料に照射し、試料から発生するX線をX線検出器で検出することにより結晶の置換サイトを計測する置換サイト計測装置であって、試料の結晶構造、検出するX線のエネルギーまたはX線の波長、試料の傾斜角度、試料とX線検出器との位置情報を入力する入力部と、前記入力部に入力した各パラメータから、回折X線の前記X線検出器への入射を算出する回折X線入射算出手段と、前記回折X線入射算出手段が算出した回折X線の前記X線検出器への入射に応じて、回折X線が前記X線検出器へ入射しないように測定条件を設定する測定条件設定手段と、電子線の傾斜と同期してX線を検出する電子線傾斜/X線検出制御部と、を備える。

請求項（抜粋）：

電子線を試料に照射し、試料から発生するX線をX線検出器で検出することにより結晶の置換サイトを計測する置換サイト計測装置であって、 試料の結晶構造、検出するX線のエネルギーまたはX線の波長、試料の傾斜角度、試料とX線検出器との位置情報を入力する入力部と、 前記入力部に入力した各パラメータから、回折X線の前記X線検出器への入射を算出する回折X線入射算出手段と、 前記回折X線入射算出手段が算出した回折X線の前記X線検出器への入射に応じて、回折X線が前記X線検出器へ入射しないように測定条件を設定する測定条件設定手段と、 電子線の傾斜と同期してX線を検出する電子線傾斜/X線検出制御部と、を備える置換サイト計測装置。

IPC (1件)：

G01N 23/225

FI (1件)：

G01N23/2252

Fターム (15件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001DA02 ,  2G001DA05 ,  2G001DA09 ,  2G001EA04 ,  2G001HA13 ,  2G001JA13 ,  2G001KA08 ,  2G001KA20