特許
J-GLOBAL ID:201803021088577488
光ファイバプリフォーム製造用に中空ガラス基材チューブの内面を活性化する方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森下 賢樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-252922
公開番号(公開出願番号):特開2014-114209
特許番号:特許第6232270号
出願日: 2013年12月06日
公開日(公表日): 2014年06月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光ファイバプリフォームの製造用に中空ガラス基材チューブの内面を活性化する方法であって、
前記活性化は、蒸着プロセス開始前の前記中空ガラス基材チューブの前処理であり、
i)PCVDプロセスによって中空基材チューブの内面上に多数の活性化ガラス層を蒸着するステップであって、活性化ガラス層の厚さが最小で10マイクロメートル且つ最大で250マイクロメートルであるステップと、
ii)エッチングプロセスによってステップi)で蒸着された前記活性化ガラス層を少なくとも部分的に取り除くステップであって、凹凸のない滑らかな内面を有する中空基材チューブを形成するために、ステップi)で蒸着された活性化ガラス層が少なくとも30%且つ最大で99%の範囲まで取り除かれるステップと、
を備えることを特徴とする方法。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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