特許

J-GLOBAL ID：201803021105505020

処理チャンバにおいて基板をマスキングするためのマスク構成、基板上に層を堆積させるための装置、及び、処理チャンバにおいて基板をマスキングするためのマスク構成の位置を合わせる方法

発明者： バンゲルト, シュテファン ,  ヴェルチェージ, トンマーゾ ,  ジスロン, ダニエーレ ,  ハイミル, オリバー ,  ロップ, アンドレアス ,  ハース, ディーター
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 園田・小林特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-531212
公開番号（公開出願番号）：特表2017-538864
出願日： 2014年12月10日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：

処理チャンバ内で基板(10)をマスキングするためのマスク構成(100)が、提供される。このマスク構成(100)は、一又は複数のフレーム要素(112、114、116、118)を有するマスクフレーム(110)であって、このマスクフレーム(110)に接続可能なマスクデバイス(120)を支持するよう構成されている、マスクフレーム(110)と、一又は複数のフレーム要素(112、114、116、118)のうちの少なくとも1つのフレーム要素(112)に接続可能な少なくとも1つのアクチュエータ(130)であって、少なくとも1つのフレーム要素(112)に力を印加するよう構成されている、少なくとも1つのアクチュエータ(130)とを、含む。【選択図】図4A

請求項（抜粋）：

処理チャンバ内で基板をマスキングするためのマスク構成であって、 一又は複数のフレーム要素を有するマスクフレームであって、前記マスクフレームに接続可能なマスクデバイスを支持するよう構成された、マスクフレームと、 前記一又は複数のフレーム要素のうちの少なくとも1つのフレーム要素に接続可能な少なくとも1つのアクチュエータであって、前記少なくとも1つのフレーム要素に力を印加するよう構成されている、少なくとも1つのアクチュエータとを備える、マスク構成。

IPC (3件)：

C23C 14/04 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10

FI (3件)：

C23C14/04 A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10

Fターム (17件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  3K107GG54 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029HA01