特許

J-GLOBAL ID：201803021164036980

研磨用濡れ剤及び研磨液組成物

発明者： 竹本 貴之 ,  斎藤 直彦 ,  柴田 晃嗣 ,  河合 道弘
出願人/特許権者： 東亞合成株式会社 ,  株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016062425
公開番号（公開出願番号）：WO2017-002433
出願日： 2016年04月19日
公開日（公表日）： 2017年01月05日
要約：

主鎖部分が炭素-炭素結合のみからなる繰り返し単位により構成され、重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)で表される分散度(PDI)が2.0以下である水溶性重合体を含む研磨用濡れ剤。上記水溶性重合体は、分子内に窒素原子を有する単量体に由来する構造単位を10mol%以上100mol%以下含むものであってもよい。

請求項（抜粋）：

主鎖部分が炭素-炭素結合のみからなる繰り返し単位により構成され、重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)で表される分散度(PDI)が2.0以下である水溶性重合体を含む研磨用濡れ剤。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  C09K 3/14

FI (4件)：

H01L21/304 622C ,  H01L21/304 622D ,  B24B37/00 H ,  C09K3/14 550Z

Fターム (15件)：

3C158AA07 ,  3C158CA04 ,  3C158CB01 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158ED21 ,  3C158ED26 ,  5F057AA28 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA16 ,  5F057EA21 ,  5F057EA29