特許

J-GLOBAL ID：201803021244493460

駆動システム及び駆動方法、露光装置及び露光方法、並びに防振装置及び防振方法

発明者： 坂田 晃一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-127352
公開番号（公開出願番号）：特開2018-159953
出願日： 2018年07月04日
公開日（公表日）： 2018年10月11日
要約：

【課題】プレートステージを精密に駆動制御する。【解決手段】 プレートステージPST(プレートテーブルPTB)の位置に関連する制御量(X)を計測するプレート干渉計システム(干渉計)18と、プレートステージPSTのモデル情報を用いて制御量(X)を再現し、その結果(Xn)と干渉計18の計測結果(Xsns)とを合成して合成制御量(Xmix)を生成する合成部52と、合成制御量(Xmix)を用いて求められる操作量をプレートステージPST(プレートステージ駆動系PSD)に与えるステージ制御装置50と、からフィードバック制御系(駆動システム)を構築する。これにより、特定の周波数のノイズを除去しても、制御量(X)を再現してその結果(Xn)を合成することで制御系の安定性を損なうことなく、精密にプレートステージPSTを駆動制御することが可能となる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

操作量を与えて制御対象を駆動する駆動システムであって、 前記制御対象の位置に関連する第1制御量を計測する計測部と、 前記制御対象のモデル情報を用いて該制御対象の位置に関する第2制御量を求め、該第2制御量と前記第1制御量とを合成して第3制御量を生成し、該第3制御量を用いて求められる前記操作量を前記制御対象に与える制御部と、 を備える駆動システム。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  G05D 3/12

FI (3件)：

G03F7/20 501 ,  G05D3/12 W ,  G03F7/20 521

Fターム (28件)：

2H197AA04 ,  2H197AA09 ,  2H197AB12 ,  2H197CA01 ,  2H197CA05 ,  2H197CA06 ,  2H197CA08 ,  2H197CC11 ,  2H197CD12 ,  2H197CD15 ,  2H197CD41 ,  2H197CD43 ,  2H197CD45 ,  2H197CD48 ,  2H197HA03 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA09 ,  5H303AA06 ,  5H303BB08 ,  5H303BB09 ,  5H303CC01 ,  5H303CC03 ,  5H303DD04 ,  5H303FF04 ,  5H303GG13 ,  5H303HH02 ,  5H303KK11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 機械位置制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-177845   出願人：三菱電機株式会社
• 制御装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-119068   出願人：株式会社ニコン