特許

J-GLOBAL ID：201803021261793337

材料を蒸発させるための装置

発明者： ブルース・ディー・ハットマン ,  カーニグ・ロス・バロン・ポーター ,  アーロン・エイ・キツグア-フローレス ,  アーサー・シー・ウォール
出願人/特許権者： ヌボサン,インコーポレイテッド
代理人 (6件)： 青木 篤 ,  三橋 真二 ,  出野 知 ,  蛯谷 厚志 ,  胡田 尚則 ,  小林 直樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-548917
公開番号（公開出願番号）：特表2018-510969
出願日： 2016年03月17日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：

所定量の材料を基材上に蒸着させるための例示的な装置は、材料を収容するように構成された空洞を有する容器を含む。容器及び空洞は、容器の第1の軸に沿って細長い。この装置は、(i)第1の軸に沿って細長く、(ii)容器を加熱することによって材料を加熱及び蒸発させるように構成された1つ以上の加熱体をさらに含む。装置は、容器の第1の軸に対して実質的に垂直な方向に基材を移動させるためのコンベヤと、第1の軸に沿って分布する容器内の1つ以上の開口部と、をさらに含む。1つ以上の開口部は、容器の外部の領域と空洞との間の流体連通を提供する。所定量の材料を基材上に蒸着させるプロセスも本明細書で開示される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

所定量の材料を基材上に蒸着させるプロセスであって、 空洞を有する容器を提供することであって、前記容器及び前記空洞が、前記容器の第1の軸に沿って細長く、前記容器が、真空チャンバ内に位置付けられ、前記容器が、 前記第1の軸に沿って分布した1つ以上の開口部を備え、前記1つ以上の開口部が、 前記空洞と、前記容器の外部の前記真空チャンバ内の領域との間の流体連通を提供する、提供することと、 前記材料を前記容器の前記空洞内に挿入することと、 前記容器を加熱し、それにより前記所定量の前記材料が蒸発して前記1つ以上の開口部を介して前記容器から出ることと、 前記第1の軸に対して実質的に垂直な、前記容器の第2の軸に沿って前記1つ以上の開口部の上方で前記基材を移動させ、それによって前記基材上に前記所定量の前記材料を蒸着させることと、を含む、プロセス。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 A

Fターム (19件)：

4K029AA02 ,  4K029AA25 ,  4K029BA41 ,  4K029BA42 ,  4K029BA43 ,  4K029CA01 ,  4K029DA08 ,  4K029DB05 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18 ,  4K029KA01 ,  5F151AA09 ,  5F151AA10 ,  5F151AA16 ,  5F151BA12 ,  5F151CB14 ,  5F151FA06 ,  5F151GA02