特許
J-GLOBAL ID：201803021319974540
能動制御型供給ポペット弁及び受動制御型生成物弁を有するスイング吸着プロセス用の装置及びシステム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
田中 伸一郎
, 弟子丸 健
, ▲吉▼田 和彦
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 山本 泰史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-540684
公開番号（公開出願番号）：特表2018-532592
出願日： 2016年10月04日
公開日（公表日）： 2018年11月08日
要約：
スイング吸着プロセスを実行するための装置及びシステムが提供される。このスイング吸着プロセスは、供給ストリームを処理してそのストリームから特定の汚染物質を除去するために、ストリームを吸着床ユニットに送るステップを含むことができる。本方法及びシステムにおいて、能動型弁を受動型弁と共に用いて、吸着床ユニットを通るストリームの流れを管理することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
供給ストリームから汚染物質を除去するための方法であって、前記方法は、
a)吸着床ユニットにおいて1又は2以上の吸着ステップを実行するステップを含み、前記1又は2以上の吸着ステップの各々は、
(i)供給入口導管から前記吸着床ユニットのハウジングの内部領域に配置された吸着床へガス状供給ストリームを送るために、1又は2以上の能動制御型供給ポペット弁を開くステップと、
(ii)前記ガス状供給ストリームを前記吸着床に曝して、前記ガス状供給ストリームから1又は2以上の汚染物質を分離して、生成物ストリームを形成するステップと、
(iii)前記生成物ストリームを前記ハウジング内の内部領域から離れて生成物導管に導くように1又は2以上の受動制御型生成物弁を開くステップであって、前記1又は2以上の受動制御型の生成物弁の各々は、前記1又は2以上の能動制御型供給ポペット弁のうちの少なくとも1つと同相で動作するようにするステップと、を含み、
前記方法が更に、
b)1又は2以上の減圧ステップを実行するステップであって、前記1又は2以上の減圧ステップの各々は、出力ストリーム中の1又は2以上の汚染物質の少なくとも一部を分離して導くステップを含むステップと、
c)少なくとも1つの追加サイクルにおいて前記ステップa)からb)を繰り返すステップであって、サイクル持続時間が1秒より長く600秒未満の期間であるステップと、
を含む、
ことを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
4D012BA01
, 4D012BA02
, 4D012BA03
, 4D012CA01
, 4D012CA03
, 4D012CA07
, 4D012CB16
, 4D012CD01
, 4D012CD07
, 4D012CE01
, 4D012CE03
, 4D012CF01
, 4D012CF03
, 4D012CF04
, 4D012CF10
, 4D012CG01
, 4D012CJ02
