文献
J-GLOBAL ID：201902017678446261   整理番号：19S2687435

Long plasma production by a radio-frequency discharge between dielectric-covered parallel electrodes

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著者 (1件)：
Nonaka, Shigehiko

Nonaka, Shigehiko について

(Totoya Technological Institute)

Totoya Technological Institute について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics

Japanese Journal of Applied Physics について


巻： 29  号： 3 R  ページ： 571-575  発行年： 1990年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 0021-4922 
言語： 英語 (EN)

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