文献

J-GLOBAL ID：201902109313257321   整理番号：19S2867275

Reaction analysis for ZrO2 and Y2O3 thin film growth by low-pressure metalorganic chemical vapor deposition using β-diketonate complexes

著者 (3件)： Akiyama, Yasunobu (Institute of Advanced Material Study, Kyushu University) ,  Sato, Tsuneyuki (Institute of Advanced Material Study, Kyushu University) ,  Imaishi, Nobuyuki (Institute of Advanced Material Study, Kyushu University)
資料名： Journal of Crystal Growth
巻： 147  号： 1-2  ページ： 130-146  発行年： 1995年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 0022-0248  CODEN： JCRGA 
言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (2件)： ZrO2 ,  Y2O3