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J-GLOBAL ID：201902113162654509   整理番号：19S2202135

Backside damage introduced by cavitating jet for gettering

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著者 (3件)：
Kumano, Hiroyuki

Kumano, Hiroyuki について

(Department of Mechanical Engineering, Tohoku University)

Department of Mechanical Engineering, Tohoku University について

, 
Soyama, Hitoshi

Soyama, Hitoshi について

(Department of Mechanical Engineering, Tohoku University)

Department of Mechanical Engineering, Tohoku University について

, 
Saka, Masumi

Saka, Masumi について

(Department of Mechanical Engineering, Tohoku University)

Department of Mechanical Engineering, Tohoku University について


資料名：
Advances in Electronic Packaging

Advances in Electronic Packaging について


巻： 3  ページ： 1471-1476  発行年： 2001年 
JST資料番号： SCOPUS  ISBN： 0791835405 
発行国： アメリカ (USA)  言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
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JET

JET について


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