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J-GLOBAL ID：201902113488102573   整理番号：19S2859718

Metrology of atomic force microscopy for si nano-structures

著者 (5件)： Nagase, Masao (NTT LSI Laboratories) ,  Namatsu, Hideo (NTT LSI Laboratories) ,  Kurihara, Kenji (NTT LSI Laboratories) ,  Iwadate, Kazumi (NTT LSI Laboratories) ,  Murase, Katsumi (NTT LSI Laboratories)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics
巻： 34  号： 6S  ページ： 3382-3387  発行年： 1995年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 0021-4922 
言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： Si