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J-GLOBAL ID：201902115267529427   整理番号：19S2852692

Effect of mixed argon and nitrogen ion beam on cubic boron nitride film formation in ion-beam-assisted deposition

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著者 (2件)：
Kawashima, Humiyuki

Kawashima, Humiyuki について

(Japan Fine Ceramics Center)

Japan Fine Ceramics Center について

, 
Shibata, Noriyoshi

Shibata, Noriyoshi について

(Japan Fine Ceramics Center)

Japan Fine Ceramics Center について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics

Japanese Journal of Applied Physics について


巻： 34  号： 10  ページ： 5758-5762  発行年： 1995年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 0021-4922 
言語： 英語 (EN)

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