文献
J-GLOBAL ID：201902115999452168   整理番号：19S2524259

Improvement of gap-filling property of o3-tetraethylorthosilicate (Teos) film by ethanol surface treatment

  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで
著者 (4件)：
Sato, Nobuyoshi

Sato, Nobuyoshi について

(LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation)

LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation について

, 
Nakano, Tadashi

Nakano, Tadashi について

(LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation)

LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation について

, 
Yamamoto, Hiroshi

Yamamoto, Hiroshi について

(LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation)

LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation について

, 
Ohta, Tomohiro

Ohta, Tomohiro について

(LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation)

LSI Research Laboratories, Technical Research Division, Kawasaki Steel Corporation について


資料名：
Japanese Journal of Applied Physics

Japanese Journal of Applied Physics について


巻： 32  号： 1 A  ページ： L110-L112  発行年： 1993年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 0021-4922 
言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (1件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
TEOS

TEOS について


前のページに戻る

TOP

BOTTOM