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J-GLOBAL ID：201902205291792022   整理番号：19S0465502

Neutral beam technology - Defect-free nanofabrication for novel nano-materials and nano-devices

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著者 (1件)：
Samukawa, Seiji

Samukawa, Seiji について

(Institute of Fluid Science, Tohoku University, WPI-Advanced Institute for Materials Research)

Institute of Fluid Science, Tohoku University, WPI-Advanced Institute for Materials Research について


資料名：
International Symposium on VLSI Technology, Systems, and Applications, Proceedings

International Symposium on VLSI Technology, Systems, and Applications, Proceedings について


巻： 2015-June  発行年： 2015年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 1930-8868  ISBN： 9781479973750 
発行国： アメリカ (USA)  言語： 英語 (EN)

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