文献

J-GLOBAL ID：201902208688569280   整理番号：19S1751747

Contact probe card with large overdrive

著者 (5件)： Kimoto, Gunsei (Department of Mechanical Engineering, Chiba University) ,  Watanabe, Takehiro (Department of Mechanical Engineering, Chiba University) ,  Matsusaka, Souta (Department of Mechanical Engineering, Chiba University) ,  Kuroda, Takaharu (Department of Mechanical Engineering, Kisarazu National College of Technology) ,  Saito, Mikiko (Nanotechnology Research Laboratory, Waseda University)
資料名： ECS Transactions
巻： 33  号： 21  ページ： 57-67  発行年： 2011年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 1938-5862  ISBN： 9781607682271 
発行国： アメリカ (USA)  言語： 英語 (EN)