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J-GLOBAL ID：201902209702187376   整理番号：19S0144261

Fabrication and evaluation for extremely thin Si wafer

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著者 (8件)：
Zhou, Libo

Zhou, Libo について

(Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University)

Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University について

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Hosseini, Bahman Soltani

Hosseini, Bahman Soltani について

(Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University)

Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University について

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Tsuruga, Tatsuya

Tsuruga, Tatsuya について

(Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University)

Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University について

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Shimizu, Jun

Shimizu, Jun について

(Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University)

Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University について

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Eda, Hiroshi

Eda, Hiroshi について

(Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University)

Department of Intelligent Systems Engineering, Ibaraki University について

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Kamiya, Sumio

Kamiya, Sumio について

(Material Engineering Div.II, Toyota Motor Co.)

Material Engineering Div.II, Toyota Motor Co. について

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Iwase, Hisao

Iwase, Hisao について

(Material Engineering Div.II, Toyota Motor Co.)

Material Engineering Div.II, Toyota Motor Co. について

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Tashiro, Yoshiaki

Tashiro, Yoshiaki について

(Tokyo Diamond Tool Mfg. Co.)

Tokyo Diamond Tool Mfg. Co. について


資料名：
International Journal of Abrasive Technology

International Journal of Abrasive Technology について


巻： 1  号： 1  ページ： 94-105  発行年： 2007年 
JST資料番号： SCOPUS  ISSN： 1752-2641 
言語： 英語 (EN)
タイトルに関連する用語 (1件)：
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Si

Si について


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