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J-GLOBAL ID:201902209859437031   整理番号:19S1273905

A feasibility study on elliptical ultrasonic assisted grinding of sapphire substrate

著者 (6件):
資料名:
巻:号:ページ: 190-202  発行年: 2010年 
JST資料番号: SCOPUS  ISSN: 1752-2641 
発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)

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